kaj W / S pomeni v kovinski upor model?

[flushrat]

v 80nm hspice knjižnici
Obstajajo tri kovinski upor 1 Model: rm1l rm1s rm1w
rm1l: metal z 1 W / S = 0.108/0.324
rm1s: metal z 1 W / S = 0.108/0.108
rm1w: metal z 1 W / S = 0.324/0.162

Kaj W / S pomeni?

 

[dipswitch]

Običajno, ko se nanašajo na kovine, W / S sredstvi Širina / vesolje.Tj, različne kovinske parcele enega mogoče uporabiti v zasnovi.

Nejasno stvar tukaj je, da prostor ne sme vplivati na odpor, tako da ne bi bili vključeni v odpornosti model.Vendar bo učinek zelo kapacitivnost, zato bi bilo treba vključiti v kateri koli model, ki je kapacitivnost.

Če ste po modelih, lahko vam povem zagotovo.

 

[jcpu]

Citat:

Nejasno stvar tukaj je, da prostor ne sme vplivati na odpornost

 

[flushrat]

Tukaj je del modela, edina razlika med modeli, kovinski upor je upor stanja.
. LIB TT_RES
. Param
......
r_rm1l = 0,0791 r_rm1s = 0,115 r_rm1w = 0,109
.......
. Endl TT_RES
*********************************** Metal z 1 W / S = 0.108/0.324 ***** ******************************
. subckt rm1l n1 n2 l = dolžina w = širina scale = 1 m = 1
. param rsh = r_rm1l
. param dw = 0
. param pvc1 = 0 pvc2 = 0 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =-5.351e-07
. param pt = "temper"
. param tfac = '1 .0 ptc1 * (pt-25,0) ptc2 * (pt-25,0) * (pt-25,0) "
r1 n1 n2 'rsh / m * l * lestvico / (m * skale suhe teže) * (1 pvc1 * (abs (v (n2, n1)) / l / lestvica) pvc2 * (v (n2, n1) / l / lestvica) * (v (n2, n1) / l / lestvica)) * tfac "
. konča rm1l

*********************************** Metal z 1 W / S = 0.108/0.108 ***** ******************************
. subckt rm1s n1 n2 l = dolžina w = širina scale = 1 m = 1
. param rsh = r_rm1s
. param dw = 0
. param pvc1 = 0 pvc2 = 0 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =-5.351e-07
. param pt = "temper"
. param tfac = '1 .0 ptc1 * (pt-25,0) ptc2 * (pt-25,0) * (pt-25,0) "
r1 n1 n2 'rsh / m * l * lestvico / (m * skale suhe teže) * (1 pvc1 * (abs (v (n2, n1)) / l / lestvica) pvc2 * (v (n2, n1) / l / lestvica) * (v (n2, n1) / l / lestvica)) * tfac "
. konča rm1s

*********************************** Metal z 1 W / S = 0.324/0.162 ***** ******************************
. subckt rm1w n1 n2 l = dolžina w = širina scale = 1 m = 1
. param rsh = r_rm1w
. param dw = 0
. param pvc1 = 0 pvc2 = 0 ptc1 = 2.846E-03 ptc2 =-5.351e-07
. param pt = "temper"
. param tfac = '1 .0 ptc1 * (pt-25,0) ptc2 * (pt-25,0) * (pt-25,0) "
r1 n1 n2 'rsh / m * l * lestvico / (m * skale suhe teže) * (1 pvc1 * (abs (v (n2, n1)) / l / lestvica) pvc2 * (v (n2, n1) / l / lestvica) * (v (n2, n1) / l / lestvica)) * tfac "
. konča rm1w

 

[dipswitch]

Pravzaprav, jcpu je pravilna, bo microloading učinki etch kovinskih plazmi vplivajo dejanske širine v primerjavi pripravi širino.Vendar pa dve stvari: prvič, smo kraj lutka metal izpolnite gostoto, da bi čim bolj enotni.Drugič, še nikoli nisem videl 40% povečanje rsh zaradi tega učinka.Treba je občutno manjše, zlasti med 0,162 in 0,324 prostor prostor, ker bi to lahko v okviru postopka na 80nm spec.

Ne morem dohiteti dokončnega odgovora.Še kdo?