Zakaj potrebujemo SiO2 na substrat Silicon za Micromachined Mikrotrakasta antena?

[ihamieh]

Hej, fantje, ne vem zakaj potrebujemo SiO2 na substrat Silicon za Micromachined Mikrotrakasta antena? Sem namenjeni pravokotne array antene na silicijeve podlage z votlino zraka, ampak kar sem videl v več dokumentih, ki jih uporabljajo tanko plast SiO2 na vrhu substrata Si iz neznanega razloga. Ali kdo ve? Cenim pomoč Hvala, Sam

 

[yadavvlsi]

Antenski niz z zračno režo votlini je težko izdelati. Viseči struktura lahko odmora med jedkanje postopku zaradi svoje lastne teže.

 

[ihamieh]

Pozdravljeni Yadavvlsi Torej, bomo morali odstraniti silicijevega dioksida (SiO2) po deponiranju obliž? Samo mislim, da povzroča zmedo mi je, da ne vem zakaj večina papirja, uporabljenega SiO2 na silicijeve podlage, ne da bi z uporabo te plasti v izračunu (patch in dimenzije krmijo Umetak)! Prosim nasvet,

 

[yadavvlsi]

Ljudje ne daje vse informacije v raziskovalne dokumentacije. Nekako izračunati debelino, vendar je ne dam v raziskovalne naloge. Bodisi jih uporabljajo simulacije, da se to ali nekaj hit in sojenje (s spreminjanjem debeline SiO2 v izdelavo sam). Če se daje vse podatke na papirju, lahko kdorkoli ponovitev svoje delo.

 

[ihamieh]

hello Yadavvlsi, Ali mislite, da smo lahko izpustite SiO2 od procesom proizvodnje, če imamo dovolj debelina Si pod obliž? Jaz sem razmišljal o 250um debeline Si pod obliž in 250um jamice zrak! Prosim nasvet, hvala, Sam

Ljudje ne daje vse informacije v raziskovalne dokumentacije. Nekako izračunati debelino, vendar je ne dam v raziskovalne naloge. Bodisi jih uporabljajo simulacije, da se to ali nekaj hit in sojenje (s spreminjanjem debeline SiO2 v izdelavo sam). Če se daje vse podatke na papirju, lahko kdorkoli ponovitev svoje delo.

 

[yadavvlsi]

Ste raziskovalni znanstvenik? Katero orodje uporabljate za oblikovanje? Lahko objavljajo zaslon strel od vaš načrt.? Ali obstaja poseben razlog za uporabo zračnega votlino SiO2?