N
neoflash
Guest
Od 55nm tehnologijo, TSMC začetkom opravljanja MOM kondenzator v generične tehnologije CMOS, kot 40LP. Moje vprašanje je, ali TSMC storiti nobene posebne obravnave na teh območju MOM, da se izboljša kovine širina / space natančnost? (Ki se je sčasoma izboljšalo kondenzator natančnost) Ali MOM cap je le redno kovinski prst cap, ki posebno postavitev vzorec. Običajno vam bo najboljših metalskih razmik vzrok kovin-metal prst kondenzator variacije tako velika, kot o + / - 20% ali še slabše. Slišal sem iz ulice, ki lahko MOM kondenzator natančnosti v + / - 10%. Sem radoveden, če je to resnično. Hvala, Neo