Metal gostota v Layoput

[sriganapati]

Hi Friends,

Zakaj moramo izpolnjevati gostote kovine v zasnovi.

 

[safwatonline]

stres vprašanja

 

[sriganapati]

safwatonline wrote:

stres vprašanja

 

[safwatonline]

mehanski

 

[protonixs]

za namene planarization

 

[Troy]

Večinoma za jedkanje enotnosti med izdelavo.

 

[engrak]

Kaj metal gostota pomeni, da je debelina?

 

[milkdragon]

Metal gostota pomeni, koliko kovin na določenem območju.Običajno Livarne ohraniti vsaj za določen odstotek unifomity.Če ni izpolnjen, se lahko obravnava "jed bowling" učinek.

Za več vnaprej tehnologijo, lahko določi zgornjo mejo gostote tudi

 

[chenjia]

Mislim, da je stres težava, zato moramo dodati nekaj režo v veliki kovinski regiji

 

[Troy]

Stres je velik problem na področju kovinske, vendar je drugačen pregled DR Kongo od gostote pregled.

 

[Colbhaidh]

Metal gostota se nanaša na razmerje med kovinske lastnosti, da odprete lastnosti za določeno masko iz kovine.To je predvsem pogoj za kovino Wafer Fab etch proces, vendar pa ima lahko posledice tudi za plazmo, poškodbe.
Postopek uporablja rie (anizotropnih etch plazma), ki je zelo občutljiva za znesek upreti (gostota), na ploščicah v Radirati.To je omejitev plazme kemije, potrebne za aluminij jedkanja.Erozije uprli prispeva k anisotropy od Radirati.
Če je premalo, kljub temu, da anizotropnih, bo etch znižale ozki upreti značilnosti, ki bodo postali sub-design pravilo v širino in kompromis IC.Obstaja tudi tanek Ti-nitrid pokrovček na vrhu aluminij, baker, ki deluje kot anti reflectant premaz za phtot proces slikanja.To se ne znižuje tako prerez aluminija tira izgleda suho mehiška nosi ogromen Sombrero (opravičilo za vse Mehičane).Ta conductive cap TiN lahko zdaj brez težav padel in zemljišča, nekje drugje, ki povzročajo prevodnim hlače in donos izgubo.
Drug problem je skladbo na robu gosto / redko poseljenem območju.Stran od zadnjega tira, eden s katerimi se sooča veliko izolirani prostranstva bo ponavadi velik naklon (nelojalno na eni strani) in je zato ogrožena.To je skoraj nemogoče ustaviti ne glede na to, kaj gostoto.Tako to gre v šolo Designers Torba za postavitev Best Practices - zadnja vrstica ne sme biti minimalni design pravilo širino.Write to, da 100-krat!

Če je preveč gosto, ne bo enotnost etch poslabšajo, tako da, ko etch zaključke (postane izpostavljenih odprtih kovinskih področja med skladbami jasno, kovine), ker ne unform etch, bo območja, ki nimajo še niso potrjeni.Glede na postavitev teh otokov iz kovine, še niso bili obračunani lahko postanejo velike antene, za pobiranje dajatev, ki potem škodo IC lokalne teh otokov.

[Upoštevajte, da lahko to še vedno problem v zasnovi, tudi če gostota je zelo nizka, vendar je dejansko zelo gosto na enem določenem področju.DRK ne boste našli to pot in vzrok okvare (nepreviden členitev) nikoli ni opredeljena kot fantastičen ne more videti med predelavo.Tako to gre tudi v Designers School Bag najboljših praks postavitve!Fab ni vedno kriva za plazemske škode Induced - napisati, da je eden od 1000-krat.]

To je precej nenavadno za kovino gostoto preveč gosto, tako da lahko Foundries samo določi minimalno (okrog 28%).

Stres vprašanje je, ko skladbe so zelo dolgi in zelo široko.Livarske mora opredeliti pri oblikovanju pravil, ki so velike dolge ozke cut outs, vključenih v take postavitve.To je predvsem za moč in avtobuse lahko resničen problem v kotičkih naprave.Livarne bi to ulovu in nekatere od njih prevzamejo odgovornost za dajanje v stranki postavitev, tudi če stranka ne.