E
ent_ee39
Guest
Hi all, sem pravkar začel študirati o DC mikro naparjenim, ki se izvaja v SEM (vrstični elektronski mikroskop) komoro. Rad bi nikogar prositi, da če hočem vedeti Argon ion in energija uporablja v naprševanja proces, kako lahko jaz jih poznam? Za moj poskusni set up: uporabljam DC napajanje za ustvarjanje plazmo. Anoda je odprtina, ki se uporablja za krmljenje AR plina med dvema elektrodama. Katoda je silicijev substrat. Ko sem deloval poskus, elektronskega snopa stroja SEM vklopljen. Uporabljam pospešeno napetost = 5 keV. Bi lahko prosim predlagamo o tem? Hvala vnaprej in ent